等离子体增强化学气相沉积系统

技术群集其他
仪器状态
所属单位浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商 sentech
购置日期 2024-03-11
使用模式按时预约
规格型号 SI 500 D
放置地址浙江大学玉泉校区微纳加工中心111室
仪器管理员陈长鸿
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