氧化物薄膜沉积系统

氧化物薄膜沉积系统

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 材料科学与工程学院 > 半导体材料研究所
  • 仪器生产商 上海实路真空技术工程有限公司
  • 购置日期 2023-04-20
  • 使用模式 送样预约
  • 规格型号 PLD-300
  • 放置地址 和同苑9幢材1-1016
  • 仪器管理员 潘新花
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