碳化硅氧化炉

碳化硅氧化炉

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
  • 仪器生产商 日本东横化学
  • 购置日期 2019-09-30
  • 使用模式 送样预约,按时预约
  • 规格型号 Ailesic-X1400
  • 放置地址 微电子楼一楼超净室118房间
  • 仪器管理员 王妹芳
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