高分辨率原位显微光刻成型系统

高分辨率原位显微光刻成型系统

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 控制科学与工程学院 > 分析仪器研究中心
  • 仪器生产商 Alveole-Olympus
  • 购置日期 2019-11-22
  • 使用模式 送样预约,按时预约
  • 规格型号 Alveole PRIMO-Olympus IX83,375 nm 光图形模块（分辨率达1 μm
  • 放置地址 玉泉校区工控新楼208
  • 仪器管理员 张涛
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