感应耦合等离子刻蚀机

感应耦合等离子刻蚀机

  • 技术群集 其他
  • 仪器状态
  • 所属单位 浙江大学 > 光电科学与工程学院 > 光电磁实验室
  • 仪器生产商 牛津仪器
  • 购置日期 2008-10-07
  • 使用模式 送样预约,按时预约
  • 规格型号 Plaswalab 100,>0.3um/min速率 >15:1选择比
  • 放置地址 ----
  • 仪器管理员 王丹萍
  • 联系方式 登录后查看

使用指南

  • 暂无数据

FAQ

  • 暂无数据

用户评论

收藏

按时预约 委托预约