仪器编号：登录后查看
所属平台： 其他
仪器状态：
所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 英国牛津仪器等离子技术公司
购置日期： 2013-11-28
规格型号： GBP3260,System100ICP180,高深宽比电感耦合
放置地址：----
仪器管理员：陈长鸿
联系电话：登录后查看
深反应刻蚀机
深反应刻蚀机
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所属单位： 浙江大学 > 信息与电子工程学院 > 微纳加工中心
仪器生产商： 英国牛津仪器等离子技术公司
购置日期： 2013-11-28
规格型号： GBP3260,System100ICP180,高深宽比电感耦合
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| 工作时间： | 09:00-12:00;14:00-18:00 |
|---|---|
| 最小可预约时间段： | 0.5 小时 |
| 最大可预约时间段： | 168 小时 |
| 日历最小单位： | 0.5 小时 |
| 最近提前预约时间： | 未授权用户: 24小时； 普通资格用户: 24小时； 资深资格用户: 24小时 |
| 最远提前预约时间： | 初级: 720 小时 0 点； 普通: 720 小时 0 点； 资深: 720 小时 0 点 |
| 最大有效预约次数： | 5 次/天 |
| 无代价撤销预约时间： | 1440 分钟 |
| 序号 | 标题 | 文件数量 | 添加时间 | 操作 |
|---|
| 序号 | 标题 | 添加时间 |
|---|---|---|
| 暂无数据 | ||
| 仪器介绍： | 该系统使用了F基的刻蚀气体，具有Bosch工艺，适合于对硅材料进行大深宽比刻蚀。 |
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| 主要参数： | 激励电源：13.56MHz1500W,AE公司；带匹配器和功率计1台。偏压电源：500W，带自动匹配器和功率计。带定时器1台。真空系统：620升/秒分子泵，8升/秒机械泵1台，带真空计。反应室尺寸：300mm。气路系统：6路进气，4个质量流量计，4路显示。可加工片子尺寸：4英寸。可双面氯基刻蚀。均匀性：5%（4英寸内）。 |
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